スパッタリング法／建築用語辞典／建築SOHO.net

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建築用語辞典

スパッタリング法

よみ：すぱったりんぐほう
50音別：す
種類別：設備

非金属あるいは金属を真空中で加熱蒸発させ、品物の表面に凝着させて、被膜をつくる処理方法。

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